




氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù),由于檢漏,簡便易操作,儀器反應靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。如您想了解更多您可撥打圖片上的電話進行咨詢,科儀創(chuàng)新竭誠為您服務。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,在室內(nèi)來回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場作用下進人磁場,由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。
今天和大家分享的是氦質(zhì)譜檢漏儀的操作方法,希望對大家有所幫助!
氦質(zhì)譜檢漏儀的校準方法
(1) 漏率校準① 校準系統(tǒng)的組成
校準系統(tǒng)由標準漏孔、截止閥及需校準的氦質(zhì)譜檢漏儀組成。
②示值誤差
通電預熱,待氦質(zhì)譜檢漏儀啟動完成后,采用標準漏孔對氦質(zhì)譜檢漏儀進行校準,將一經(jīng)過校準的標準漏孔接入氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng),運行氦質(zhì)譜檢漏儀,待漏率示值穩(wěn)定后,可以讀出標準漏孔漏率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值,同一標準漏孔測量三次,計算氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值,從而得到標準漏孔漏率與氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值的示值誤差。整機由微機控制,菜單的選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。結(jié)束后,將其他量級的標準漏孔依次按此方法接入氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)進行測試,得到氦質(zhì)譜檢漏儀在每一量級下漏率的示值誤差。
如果測試結(jié)果有較大編差,可以考慮氦質(zhì)譜檢漏儀的自校功能,待完成后,再用標準漏孔進行測試。
③ 重復性
測量重復性是用實驗標準偏差表征的,本校準方法采用極差法來表征重復性。在示值誤差測量中,每一標準漏孔用氦質(zhì)譜檢漏儀重復測量三次,可用公式(2)計算氦質(zhì)譜檢漏儀在該漏率下的重復性。
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氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)和工作原理
氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計,其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運動時,不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。背壓法的缺點是不能進行大型密封容器的漏,否則由于密封腔體容積太大,導致加壓時間太長。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空,當真空度P1 優(yōu)于200 Pa 時,打開入口閥1、2,關(guān)閉抽空閥,氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進入質(zhì)譜室中被檢測出來,此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 10 Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空,當P1降至20 Pa 時,入口閥2 關(guān)閉,入口閥3 打開,分子泵的高抽速用于抽空試件,檢漏儀的反應時間縮短,此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 12 Pa·m3/s。
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